超微粉碎方法是采用深度冷冻超微粉碎技术利用物料在不同的温度下具有不同性质的特征，将物料冷冻至脆化点或玻璃态温度之下使其成为脆性状态，然后再用机械或流体动力的方法，将物料粉碎至微米甚至纳米级微粉的过程。超微粉碎设备主要有新型高细球磨机和振动磨两种。而振动磨是目前常用的超微粉碎设备。振动磨简体有单筒式、双筒式和三筒式；按其特点分为惯性式、偏旋式振动磨；按操作方法分为间歇式和连续式振动磨。下面介绍振动磨。

    1.结构振动磨由筒体、激振器（偏心轮）、支撑弹簧、挠性轴套、研磨介质及驱动电机等部件组成，如图5-5所示。磨机简体通常采用优质无缝钢管。激振器用于产生振动磨所需的工作振幅，是由安装在主轴两端的偏心轮组成，偏心轮可在0-180°范围内进行调整。电动机通过挠性轴套带动激振器中的偏心轮旋转，产生周期性的激振力，使振动磨正常有效工作，同时又对电机起隔振作用。研磨介质有球形、柱形或棒形等多种形状。